oppvarming av mocvd-reaktor med induksjon
Induksjonsoppvarming Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktorer er en teknologi som tar sikte på å forbedre oppvarmingseffektiviteten og redusere skadelig magnetisk kobling med gassinnløpet. Konvensjonelle induksjonsoppvarmings-MOCVD-reaktorer har ofte induksjonsspolen plassert utenfor kammeret, noe som kan resultere i mindre effektiv oppvarming og potensiell magnetisk interferens med gassleveringssystemet. Nylig … Les mer